Ljóshönnun hefur mikið úrval af forritum á hálfleiðara reitnum. Í ljósritunarvél er sjónkerfið ábyrgt fyrir því að einbeita ljósgeislanum sem ljósgjafinn gefur frá sér og varpaði því á kísilþakið til að afhjúpa hringrásarmynstrið. Þess vegna er hönnun og hagræðing sjónhluta í ljósritunarkerfinu mikilvæg leið til að bæta afköst ljósritunarvélarinnar. Eftirfarandi eru nokkrir af sjónhlutanum sem notaðir eru í ljósritunarvélum:
Vörpun markmið
01 Verkefnamarkmiðið er lykil sjónþáttur í litografsvél, venjulega sem samanstendur af röð af linsum, þar með talið kúptum linsum, íhvolfum linsum og prísum.
02 Virkni þess er að skreppa saman hringrásarmynstrið á grímunni og einbeita því að skífunni húðuð með ljósmyndara.
03 Nákvæmni og afköst vörpun markmiðsins hafa afgerandi áhrif á upplausn og myndgreiningar gæði lithography vélarinnar
Spegill
01 Speglareru notaðir til að breyta stefnu ljóssins og beina því á réttan stað.
02 Í EUV lithography vélum eru speglar sérstaklega mikilvægir vegna þess að EUV -ljós frásogast auðveldlega af efnum, svo að nota verður spegla með mikla endurspeglun.
03 Yfirborðs nákvæmni og stöðugleiki endurspeglunarinnar hefur einnig mikil áhrif á afköst lithography vélarinnar.
Síur
01 Síur eru notaðar til að fjarlægja óæskilegar bylgjulengdir ljóss, bæta nákvæmni og gæði ljósritunarferlisins.
02 Með því að velja viðeigandi síu er hægt að tryggja að aðeins ljós á tiltekinni bylgjulengd fer inn í litografívélina og bæti þar með nákvæmni og stöðugleika litografferlisins.
Prisma og aðrir íhlutir
Að auki getur litografsvélin einnig notað aðra hjálparhluta, svo sem prisma, polarizers osfrv., Til að uppfylla sérstakar litritunarkröfur. Val, hönnun og framleiðsla þessara sjónhluta verður að fylgja stranglega viðeigandi tæknilegum stöðlum og kröfum til að tryggja mikla nákvæmni og skilvirkni litografsvélarinnar.
Í stuttu máli, beiting sjónhluta á sviði litografívéla miðar að því að bæta afköst og framleiðslu skilvirkni litografívéla og styðja þannig þróun örnafræðilega framleiðsluiðnaðarins. Með stöðugri þróun litografatækni mun hagræðing og nýsköpun sjónhluta einnig veita meiri möguleika á framleiðslu næstu kynslóðar flísar.
Fyrir frekari innsýn og ráðleggingar sérfræðinga skaltu fara á vefsíðu okkar áhttps://www.jiujonoptics.com/Til að læra meira um vörur okkar og lausnir.
Post Time: Jan-02-2025
