Optísk hönnun hefur fjölbreytt úrval af forritum á hálfleiðara sviði. Í ljóslitavél er ljóskerfið ábyrgt fyrir því að einbeita ljósgeislanum sem ljósgjafinn gefur frá sér og varpa honum á sílikonskífuna til að afhjúpa hringrásarmynstrið. Þess vegna er hönnun og hagræðing ljósfræðilegra íhluta í ljóslitakerfi mikilvæg leið til að bæta frammistöðu ljóslitavélarinnar. Eftirfarandi eru nokkrir af þeim sjónrænu íhlutum sem notaðir eru í ljósgreiningarvélar:
Framreiðslumarkmið
01 Vörpuhluturinn er lykilhluti í lithography vél, venjulega samanstendur af röð linsa þar á meðal kúptum linsum, íhvolfum linsum og prismum.
02 Hlutverk þess er að minnka hringrásarmynstrið á grímunni og fókusera það á oblátuna sem er húðuð með ljósþolnum.
03 Nákvæmni og frammistaða vörpunarmarkmiðsins hefur afgerandi áhrif á upplausn og myndgæði steinþrykksvélarinnar
Spegill
01 Speglareru notuð til að breyta stefnu ljóssins og beina því á réttan stað.
02 Í EUV steinþrykkvélum eru speglar sérstaklega mikilvægir vegna þess að EUV ljós frásogast auðveldlega af efnum og því þarf að nota spegla með mikla endurkastsgetu.
03 Yfirborðsnákvæmni og stöðugleiki endurskinsmerkisins hefur einnig mikil áhrif á frammistöðu steinþrykkja vélarinnar.
Síur
01 Síur eru notaðar til að fjarlægja óæskilegar bylgjulengdir ljóss, sem bæta nákvæmni og gæði ljósþynningarferlisins.
02 Með því að velja viðeigandi síu er hægt að tryggja að aðeins ljós með ákveðinni bylgjulengd komist inn í steinþrykkjavélina og bætir þannig nákvæmni og stöðugleika steinþrykkjaferlisins.
Prisma og aðrir íhlutir
Að auki getur steinþrykkjavélin einnig notað aðra ljósfræðilega aukahluti, svo sem prisma, skautara o.s.frv., Til að uppfylla sérstakar kröfur um litafræði. Val, hönnun og framleiðsla þessara sjónræna íhluta verður að fylgja nákvæmlega viðeigandi tæknilegum stöðlum og kröfum til að tryggja mikla nákvæmni og skilvirkni steinprentunarvélarinnar.
Í stuttu máli, beiting ljósfræðilegra íhluta á sviði steinþrykkjavéla miðar að því að bæta frammistöðu og framleiðslu skilvirkni steinþrykkjavéla og styðja þannig þróun öreindaframleiðsluiðnaðarins. Með stöðugri þróun lithography tækni mun hagræðing og nýsköpun ljósfræðilegra íhluta einnig veita meiri möguleika til framleiðslu á næstu kynslóðar flísum.
Fyrir frekari innsýn og sérfræðiráðgjöf, heimsækja vefsíðu okkar áhttps://www.jiujonoptics.com/til að læra meira um vörur okkar og lausnir.
Pósttími: Jan-02-2025
