Ljósfræðilegir íhlutir í litografíuvélum

Ljósfræðileg hönnun hefur fjölbreytt notkunarsvið á sviði hálfleiðara. Í ljósritunarvél ber ljósfræðilegt kerfi ábyrgð á að einbeita ljósgeislanum sem ljósgjafinn gefur frá sér og varpa honum á kísilplötuna til að afhjúpa rafrásarmynstrið. Þess vegna er hönnun og hagræðing ljósfræðilegra íhluta í ljósritunarkerfinu mikilvæg leið til að bæta afköst ljósritunarvélarinnar. Eftirfarandi eru nokkrir af þeim ljósfræðilegu íhlutum sem notaðir eru í ljósritunarvélum:

Markmið spár
01 Varparlinsan er lykilþáttur í litografíuvél og samanstendur venjulega af röð linsa, þar á meðal kúptum linsum, íhvolfum linsum og prismum.
02 Hlutverk þess er að minnka rafrásarmynstrið á grímunni og beina því að skífunni sem er húðuð með ljósþolnu efni.
03 Nákvæmni og afköst vörpunarlinsunnar hafa afgerandi áhrif á upplausn og myndgæði litografíuvélarinnar.

Spegill
01 Speglareru notaðar til að breyta stefnu ljóssins og beina því á réttan stað.
02 Í EUV-litografíuvélum eru speglar sérstaklega mikilvægir vegna þess að EUV-ljós frásogast auðveldlega af efnum, þannig að nota verður spegla með mikilli endurskinshæfni.
03 Yfirborðsnákvæmni og stöðugleiki endurskinsmerkisins hafa einnig mikil áhrif á afköst litografíuvélarinnar.

Síur
01 Síur eru notaðar til að fjarlægja óæskilegar bylgjulengdir ljóss, sem bætir nákvæmni og gæði ljósritunarferlisins.
02 Með því að velja viðeigandi síu er hægt að tryggja að aðeins ljós af ákveðinni bylgjulengd komist inn í litografíuvélina og þar með bæta nákvæmni og stöðugleika litografíuferlisins.

Prisma og aðrir íhlutir
Að auki getur litografíutækið einnig notað aðra ljósfræðilega hjálparþætti, svo sem prisma, skautunarbúnað o.s.frv., til að uppfylla sérstakar kröfur um litografíu. Val, hönnun og framleiðsla þessara ljósfræðilegu þátta verður að fylgja stranglega viðeigandi tæknilegum stöðlum og kröfum til að tryggja mikla nákvæmni og skilvirkni litografíutækisins.

Í stuttu máli miðar notkun ljósleiðara í litografíuvélum að því að bæta afköst og framleiðsluhagkvæmni litografíuvéla og styðja þannig við þróun ör-rafeindaiðnaðarins. Með sífelldri þróun litografíutækni mun hagræðing og nýsköpun ljósleiðara einnig auka möguleika á framleiðslu næstu kynslóðar örgjörva.

Fyrir frekari upplýsingar og ráðleggingar sérfræðinga, heimsækið vefsíðu okkar áhttps://www.jiujonoptics.com/til að læra meira um vörur okkar og lausnir.